现代集成电路使用的半导体材料
现代集成电路使用的半导体材料主要是硅(Si)。硅因其优良的半导体特性、可控性以及生产工艺的成熟,成为集成电路的基础材料。硅的晶体结构为面心立方晶系,具有热稳定性好、机械强度高,能够保证电子元器件的高精度制造和高可靠性使用。
除了硅,其他如锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等化合物半导体材料也在特定应用中有所使用,例如在高频、高速电子器件和光电子器件中。
铜(Cu)由于其低电阻率、良好的力学性能和热稳定性,在现代集成电路中作为重要的金属材料,用于电极、接线、导体等方面。
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